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Vanadium Incorporation in 3C-SiC Epilayers and its Consequences for Electrical Properties of 3C-SiC Material
作者
Marcin Zieliński,
Marc Bussel,
Catherine Moisson,
Hugues Mank,
Sylvain Monnoye,
Marc Portail,
Adrien Michon,
Yvon Cordier
出处
期刊：
Materials Science Forum
[Trans Tech Publications]
日期：2022-05-31
卷期号：1062: 140-145
链接
scientific.net
zenodo.org
doi.org
标识
DOI：10.4028/p-10ru0j
摘要
The present experimental study demonstrates the feasibility of Vanadium doping of 3CSiC hetero-epitaxial material. Some of Vanadium incorporation trends as well as the influence of Vanadium doping on 3C-SiC resistivity are observed.
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