铜
光刻
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材料科学
氧化铜
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氧化物
纳米技术
光刻胶
化学工程
冶金
图层(电子)
工程类
热力学
物理
作者
Shufen Wang,Minsu Liu,Yuan Feng,Yanru Bu,So Hung Huynh,Tuck Wah Ng,Feng Gu,Aibing Yu,Xuchuan Jiang
摘要
Patterned copper oxide (CuO) microprotrusions have been developed by combining facile wet-chemical oxidation, photolithography and e-beam evaporation processes.
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