Development of a MEMS Thermal Flow Sensor With High Reliability and Universality for Various Gases

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作者

Wei Tian,Yuzhe Lin,Liang-Feng Wen,Maosen Xu,Jin-Shyong Lin,Guoqing Hu,Jifang Tao

出处

期刊：Journal of microelectromechanical systems [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
日期：2025-01-01 卷期号：: 1-10

标识

DOI：10.1109/jmems.2025.3564169

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