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作者
G. Stangl,
F. Rüdenauer,
Wilhelm Maurer,
W. Fallmann
出处
期刊：
Microelectronic Engineering
[Elsevier BV]
日期：1985-12-01
卷期号：3 (1-4): 167-171
被引量：3
标识
DOI：10.1016/0167-9317(85)90024-3
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