Dry etching of TaN thin film using CH4/Ar inductively coupled plasma

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作者
Jong‐Chang Woo,Chang-Il Kim
出处
期刊:Vacuum [Elsevier BV]
卷期号:86 (1): 1-6 被引量:10
标识
DOI:10.1016/j.vacuum.2011.03.018
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