Kinetics of laser-induced oxidation of silicon near room temperature

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作者

А. В. Осипов,P. Patzner,Peter Hess

出处

期刊：Applied Physics A [Springer Science+Business Media]
日期：2005-10-31 卷期号：82 (2): 275-280 被引量：24

标识

DOI：10.1007/s00339-005-3415-x

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