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Unsteady Multiphase CFD Analysis of Slurry Flow in a 300 mm CMP System: Effect of Rotation Speed and Slurry Flow Rate

泥浆 计算流体力学 材料科学 转速 机械 旋转（数学） 流量（数学） 体积流量 沟槽（工程） 强度（物理） 化学机械平面化 计算机模拟 瞬态（计算机编程） 多相流 机械工程 腐蚀 足迹 叶轮 两相流 环境科学 复合材料 消散 流体力学 混合（物理） 二次流
作者
Doyun An,Munyoung Hong,H S Park,Hong Jin Kim,Hyunki Kim,HYUNSEOP LEE,Jin Lee
出处
期刊：International Journal of Precision Engineering and Manufacturing [Springer Science+Business Media]
日期：2026-07-06
标识
DOI：10.1007/s12541-026-01524-6
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