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Summary Abstract: GaAs oxidation and the Ga–As–O equilibrium phase diagram
作者
G. P. Schwartz,
C. D. Thurmond,
G. W. Kammlott,
B. Schwartz
出处
期刊：
Journal of Vacuum Science and Technology
[American Institute of Physics]
日期：1980-09-01
卷期号：17 (5): 958-958
被引量：7
标识
DOI：10.1116/1.570646
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