SciHub
文献互助
期刊查询
一搜即达
科研导航
即时热点
交流社区
登录
注册
发布
文献
求助
首页
我的求助
捐赠本站
已入深夜，您辛苦了！由于当前在线用户较少，发布求助请尽量完整地填写文献信息，科研通机器人24小时在线，伴您度过漫漫科研夜！祝你早点完成任务，早点休息，好梦！
Fine-line formation of cobalt thin films via cyclic etching using two-step process
材料科学
溅射
蚀刻（微加工）
图层（电子）
等离子体刻蚀
钴
薄膜
分析化学（期刊）
等离子体
饱和（图论）
光电子学
纳米技术
冶金
色谱法
化学
量子力学
组合数学
物理
数学
作者
Seon Jae Kim,
Jun Won Jeong,
Kyung Ho Oh,
Geum Bin Baek,
Chee Won Chung
出处
期刊：
Materials Science in Semiconductor Processing
[Elsevier BV]
日期：2023-11-25
卷期号：171: 108005-108005
被引量：2
标识
DOI：10.1016/j.mssp.2023.108005
求助该文献
最长约 10秒，即可获得该文献文件
相关文献
科研通AI机器人已完成分析
对不起，本页面需要您登录以后才可查看
进入登录/注册页面
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
我的文献求助列表
浏览历史
一分钟了解求助规则
|
捐赠本站
|
历史今天
更新
⚡
2026年影响因子、分区
已更新！
(2026-6-17)
更新
📰 新增『新锐期刊分区』
(2026-3-24)
更新
💬 新增更精细的自定义提醒设置
(2026-1-4)
新增
🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻
(2026-1-2)
新增
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
Joey
发布了新的
文献求助
10
刚刚
weidan1993
发布了新的
文献求助
10
刚刚
HMG1COA
完成签到
，获得积分
10
1秒前
852
上传了
应助文件
1秒前
汉堡包
上传了
应助文件
1秒前
SciGPT
的
应助
被
2052669099
采纳，获得
10
3秒前
Viper
的
应助
被
Albert
采纳，获得
30
3秒前
李健的粉丝团团长
上传了
应助文件
4秒前
z123123
发布了新的
文献求助
10
4秒前
whynot
发布了新的
文献求助
10
4秒前
CC
完成签到
，获得积分
10
6秒前
英姑
的
应助
被
麦麦脆汁狗
采纳，获得
10
6秒前
Autumn
完成签到，获得积分
10
6秒前
可靠的墨镜
关闭了
可靠的墨镜
的
文献求助
6秒前
自然的樱桃
的
应助
被
阳光安雁
采纳，获得
10
7秒前
煤球
发布了新的
文献求助
20
7秒前
自然的心锁
发布了新的
文献求助
10
7秒前
神猪无敌
发布了新的
文献求助
10
8秒前
科研通AI6.2
上传了
应助文件
8秒前
斯文败类
上传了
应助文件
8秒前
xdjack
完成签到，获得积分
20
10秒前
爆米花
上传了
应助文件
11秒前
焦焦脆松木
完成签到，获得积分
10
11秒前
田様
的
应助
被
Autumn
采纳，获得
10
11秒前
pure
完成签到
，获得积分
10
11秒前
SciGPT
的
应助
被
weidan1993
采纳，获得
10
11秒前
英姑
上传了
应助文件
12秒前
英俊的铭
的
应助
被
yindingle
采纳，获得
10
13秒前
888
完成签到，获得积分
20
14秒前
bop
发布了新的
文献求助
10
14秒前
张大聪明
发布了新的
文献求助
10
16秒前
岢岚
完成签到，获得积分
10
16秒前
LZY
完成签到，获得积分
10
16秒前
nn
的
应助
被
十六夜
采纳，获得
10
17秒前
充电宝
上传了
应助文件
17秒前
Yanyt
完成签到，获得积分
20
18秒前
思源
的
应助
被
xdjack
采纳，获得
10
19秒前
脑袋瓜
发布了新的
文献求助
10
19秒前
mountainbike
完成签到，获得积分
10
20秒前
铁锤牛马版
发布了新的
文献求助
30
21秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】
10000
Principles of town planning: translating concepts to applications
1000
2016 Venous Blood Study (VBS) (Final V3.0)
510
Management and the Arts
510
Matrix Methods in Data Mining and Pattern Recognition Second Edition
510
The Effective Clinical Neurologist 3ed
500
The Great Hymn to Šamaš
500
热门求助领域
（近24小时）
化学
材料科学
医学
生物
纳米技术
工程类
有机化学
化学工程
生物化学
计算机科学
内科学
物理
复合材料
催化作用
细胞生物学
无机化学
光电子学
物理化学
电极
基因
热门帖子
关注
科研通微信公众号，转发送积分
7699890
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？
9259145
关于积分的说明
20018021
捐赠科研通
7275052
什么是DOI，文献DOI怎么找？
3293637
关于科研通互助平台的介绍
2449029
邀请新用户注册赠送积分活动
2299984
今日热心研友
无极微光
388
7740
cdercder
414
5180
Nole
293
4920
xing_xing
148
3300
XX
234
2250
Dean
4470
学术文献互助
4000
aaaa
81
2448
8R60d8
99
1905
飞快的千万
154
930
DOC_XIONG
151
950
aajhajkahna
115
1240
馨馨的科科
69
1600
OK
2230
sagitar
2070
修仙中
104
1020
小鱼爱吃肉
103
930
初景
71
1220
dde
96
884
arniu2008
1800
注：热心度 = 本日应助数 + 本日被采纳获取积分÷10
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
无极微光
cdercder
Nole
xing_xing
XX
Dean
学术文献互助
aaaa
8R60d8
飞快的千万
DOC_XIONG
aajhajkahna
馨馨的科科
OK
sagitar
修仙中
小鱼爱吃肉
初景
dde
arniu2008
皖公网安备34019202002308
