Semiconductor Manufacturing Technology

半导体 半导体器件制造 制造工程 业务 光电子学 工程类 材料科学 薄脆饼
作者
Chue San Yoo
标识
DOI:10.1142/6123
摘要

Building Blocks for Integrated Circuits Thermal Oxidation Gas Kinetics and Plasma Physics Chemical Vapor Deposition Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition and Etching Pattern Transfer: Photolithography Pattern Generation: Photomask Processing Doping Technology Metallization and Silicidation Planarization and CMP Technology Copper and Low k.
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