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Low temperature 2D GaN growth on Si(111) 7 × 7 assisted by hyperthermal nitrogen ions
离子
氮气
材料科学
化学
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作者
Jaroslav Maniš,
Jindřich Mach,
Miroslav Bartošík,
Tomáš Šamořil,
Michal Horák,
Vojtěch Čalkovský,
David Nezval,
Lukáš Kachtik,
Martin Konečný,
Tomáš Šikola
出处
期刊:
Nanoscale advances
[Royal Society of Chemistry]
日期:2022-01-01
卷期号:4 (17): 3549-3556
被引量:3
链接
rsc.org
rsc.org
nih.gov
handle.net
utb.cz
nih.gov
doi.org
标识
DOI:10.1039/d2na00175f
摘要
As the characteristic dimensions of modern top-down devices are getting smaller, such devices reach their operational limits imposed by quantum mechanics.
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