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Incorporation of indium into ε-gallium oxide epitaxial thin films grown via mist chemical vapour deposition for bandgap engineering

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作者
Hiroyuki Nishinaka,Neo Miyauchi,Daisuke Tahara,Shinya Morimoto,Masahiro Yoshimoto
出处
期刊：CrystEngComm [Royal Society of Chemistry]
日期：2018-01-01 卷期号：20 (13): 1882-1888 被引量：67
标识
DOI：10.1039/c7ce02103h
摘要
Epitaxial ε-gallium oxide (Ga2O3) thin films incorporated with In were successfully grown by mist chemical vapour deposition (CVD) on c-plane sapphire substrates for bandgap tuning.
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