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Formation of high moisture and dopant diffusion resistivity silicon nitride films by catalytic-CVD method

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作者
Akira Izumi,Hidekazu Sato,Hiroyoshi Matsumura
出处
期刊：Journal de physique [EDP Sciences]
日期：2001-08-01 卷期号：11 (PR3): Pr3-906 被引量：5
标识
DOI：10.1051/jp4:20013112
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