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Optimization of defect detection sensitivity and cost of ownership reduction in nano imprint lithography through design for inspection and advanced optical inspection

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作者
Gilad Reut,Oded Ovdat,Orli Grinstein‐Cohen,Shay Yasharzade,Liran Zacs,Inbar Kolsky,Harel Ilan,Shingo Ishida,Tomohiro Saito,Asahi Sawasato,Yuki Kawabe,Shinsuke Mizuno
标识
DOI：10.1117/12.3051318
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