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Synthesis of Nickel Nitride Layers During Pulse Magnetron Sputtering Conditions

材料科学 镍 溅射沉积 氮化物 光电子学 高功率脉冲磁控溅射 腔磁控管 溅射 脉搏（音乐） 冶金 复合材料 纳米技术 计算机科学 薄膜 图层（电子） 电信 探测器
作者
Magdalena Wilczopolska,Katarzyna Nowakowska‐Langier,Sebastian Okrasa,R. Minikayev,D. Zaloga,Kamil Namyślak,Grzegorz W. Strzelecki
出处
期刊：Social Science Research Network [RELX Group (Netherlands)]
日期：2023-01-01
标识
DOI：10.2139/ssrn.4596740
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