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Vanadium doping using VCl4 source during the chloro-carbon epitaxial growth of 4H-SiC
作者
Bharat Krishnan,
Siva Prasad Kotamraju,
Rooban Venkatesh K.G. Thirumalai,
Yaroslav Koshka
出处
期刊：
Journal of Crystal Growth
[Elsevier BV]
日期：2011-02-13
卷期号：321 (1): 8-14
被引量：11
标识
DOI：10.1016/j.jcrysgro.2011.02.010
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