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Vertically tailored hybrid multilayer EUV photoresist with vertical molecular wire structure
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作者
Myung Mo Sung,
Hyeonseok Ji,
Jaehyuk Lee,
Jinho Ahn,
Chang Gyoun Kim,
Sangsul Lee,
Yasin Ekinci,
Prajith Karadan,
Dimitrios Kazazis
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DOI：10.1117/12.3009753
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