Large Scale Silicon Photonics Switches Based on MEMS Technology
微电子机械系统
光子学
硅光子学
硅
比例（比率）
计算机科学
光电子学
材料科学
物理
量子力学
作者
Ming C. Wu,Tae Joon Seok,Kyungmok Kwon,Johannes Henriksson,Jianheng Luo
标识
DOI：10.1364/ofc.2019.th1e.1
摘要
We review the recent developments in large-scale silicon photonic switches, focusing on MEMS-based switches that enables high port-count (128×128), low optical loss (0.05 dB/port), low crosstalk, broadband operation, sub-microsecond response time, and low power consumption.
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