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TaCl5-C3H6-H2 계에서 TaC CVD 공정의 열역학 해석
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作者
김현미,
최균,
심광보,
조남춘,
박종규,
Hyun Mi Kim,
Kyoon Choi,
Kwang-Bo Shim,
Nam-Choon Cho,
Jong-Kyoo Park
出处
期刊：
Korean Journal of Materials Research
[Materials Research Society of Korea]
日期：2018-02-01
卷期号：28 (2): 75-81
被引量：1
标识
DOI：10.3740/mrsk.2018.28.2.75
摘要
This work was supported by the Korea Government(Ministry of Trade, Industry and Energy, MOTIE and Defense Acquisition Program Adminstration, DAPA) through Institute of Civil-Military Technology Cooperation.
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