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作者
Lawrence S. Melvin,
Maryvonne Chalony,
Andrew M. C. Dawes
出处
期刊：Journal of micro/nanopatterning, materials, and metrology
[SPIE - International Society for Optical Engineering]
日期：2025-05-21
卷期号：24 (02)
标识
DOI：10.1117/1.jmm.24.2.023401
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