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High-performance trench-structured thin film transistor with a micropatterned double-layer oxide semiconductor of varying thickness

沟槽 材料科学 薄膜晶体管 图层（电子） 光电子学 半导体 晶体管 氧化物薄膜晶体管 氧化物 纳米技术 电气工程 冶金 工程类 电压
作者
Mookyum Kim,Ji Cheol Byen,Doyeon Kim,Rakesh S. Sharbidre,Prashant Narute,Minseok Kim,Seong‐Gu Hong
出处
期刊：Nano Research [Springer Nature]
日期：2024-12-16 卷期号：18 (1): 94907065-94907065 被引量：1
标识
DOI：10.26599/nr.2025.94907065
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