MoS2transistors with 1-nanometer gate lengths

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作者
Sujay B. Desai,Surabhi R. Madhvapathy,Angada B. Sachid,Juan Pablo Llinas,Qingxiao Wang,Geun Ho Ahn,Gregory Pitner,Moon J. Kim,Jeffrey Bokor,Chenming Hu,H.‐S. Philip Wong,Ali Javey
出处
期刊:Science [American Association for the Advancement of Science]
卷期号:354 (6308): 99-102 被引量:1468
标识
DOI:10.1126/science.aah4698
摘要

A flatter route to shorter channels High-performance silicon transistors can have gate lengths as short as 5 nm before source-drain tunneling and loss of electrostatic control lead to unacceptable leakage current when the device is off. Desai et al. explored the use of MoS 2 as a channel material, given that its electronic properties as thin layers should limit such leakage. A transistor with a 1-nm physical gate was constructed with a MoS 2 bilayer channel and a single-walled carbon nanotube gate electrode. Excellent switching characteristics and an on-off state current ratio of ∼10 6 were observed. Science , this issue p. 99
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