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Study on the effect of polishing pad layer structure on dishing control in chemical mechanical planarization of through-silicon via copper patterned wafer
作者
Quoc-Phong Pham,
Le Nam Quoc Huy
出处
期刊：
The International Journal of Advanced Manufacturing Technology
[Springer Science+Business Media]
日期：2026-05-01
卷期号：144 (5-6): 4531-4547
链接
researchsquare.com
doi.org
标识
DOI：10.1007/s00170-026-18235-x
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