Effect of ion control strategies on the deposition rate and properties of copper films in bipolar pulse high power impulse magnetron sputtering

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作者
Xuebing Bai,Qun Cai,Wenhao Xie,Yuqiao Zeng,Xuhai Zhang
出处
期刊:Journal of Materials Science [Springer Nature]
卷期号:58 (3): 1243-1259 被引量:5
标识
DOI:10.1007/s10853-022-08036-4
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