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Amorphous/microcrystalline transition of thick silicon film deposited by PECVD

等离子体增强化学气相沉积 微晶硅 微晶 无定形固体 材料科学 硅 非晶硅 化学工程 纳米晶硅 化学 晶体硅 光电子学 结晶学 工程类
作者
N. Elarbi,R. Jemaï,A. Outzourhit,K. Khirouni
出处
期刊：Applied Physics A [Springer Science+Business Media]
日期：2016-05-04 卷期号：122 (6) 被引量：11
标识
DOI：10.1007/s00339-016-0103-y
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