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Characterization of SiO2 and TiO2 films prepared using rf magnetron sputtering and their application to anti-reflection coating

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作者
Sang‐Hun Jeong,Jae‐Keun Kim,Bongsoo Kim,Seok-Ho Shim,Byung‐Teak Lee
出处
期刊：Vacuum [Elsevier]
日期：2004-08-05 卷期号：76 (4): 507-515 被引量：191
标识
DOI：10.1016/j.vacuum.2004.06.003
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