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The effects of film thickness on the electrical, optical, and structural properties of cylindrical, rotating, magnetron-sputtered ITO films

材料科学扫描电子显微镜溅射沉积腔磁控管溅射透射电子显微镜薄膜衍射光学光电子学电极复合材料纳米技术化学物理物理化学

作者

Jae Ho Kim,Tae‐Yeon Seong,Kyung-Jun Ahn,Kwun-Bum Chung,Hae‐Jun Seok,Hyeong-Jin Seo,Han‐Ki Kim

出处

期刊：Applied Surface Science [Elsevier BV]
日期：2018-02-02 卷期号：440: 1211-1218 被引量：66

标识

DOI：10.1016/j.apsusc.2018.01.318

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