The effects of C3H8 on the chemical vapor deposition of silicon carbide in the CH3SiCl3 + H2 system

化学计量学 碳化硅 材料科学 压痕硬度 化学气相沉积 微观结构 碳化物 分析化学(期刊) 矿物学 化学 冶金 纳米技术 物理化学 色谱法
作者
Byung Jin Choi,Sun Ho Jeun,Dai Ryong Kim
出处
期刊:Journal of The European Ceramic Society [Elsevier BV]
卷期号:9 (5): 357-363 被引量:20
标识
DOI:10.1016/0955-2219(92)90094-t
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