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Electroless Plating of Ru Using Hydrazine Hydrate as a Reducing Agent

水合物退火（玻璃）电阻率和电导率微晶联氨（抗抑郁剂）材料科学解吸还原剂无机化学杂质钌化学工程冶金化学催化作用吸附有机化学工程类电气工程色谱法

作者

Ryota Saida,Tomohiro Shimizu,Takeshi Ito,Yukihiro Tominari,Shukichi Tanaka,Naoki Fukumuro,Shinji Yae,Shoso Shingubara

出处

期刊：Journal of Electronic Materials [Springer Science+Business Media]
日期：2023-07-26 卷期号：52 (10): 6690-6698 被引量：4

标识

DOI：10.1007/s11664-023-10605-5

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