Effect of Deposition and Heat Treatment Conditions on the Electrical and Optical Properties of AZO/Cu/AZO Thin Film

材料科学 沉积(地质) 薄膜 化学工程 复合材料 纳米技术 古生物学 沉积物 工程类 生物
作者
Chan Young Kim,Ha-Eun Lim,Gaeun Yang,Sukjeang Kwon,Chan-Hee Kang,Sang-Chul Lim,Taek Yeong Lee
出处
期刊:Korean Journal of Materials Research [Materials Research Society of Korea]
卷期号:33 (4): 142-150
标识
DOI:10.3740/mrsk.2023.33.4.142
摘要

1. 서 론 산화물 반도체는 디스플레이, 광전 소자, LED, 태양전 지 등에 사용되는 투명 전도성 전극과 가스 센서 분야 등 에서 널리 사용된다. 1-8)대표적인 물질로는 주석 산화물 기반의 ITO (indium tin oxide)와 아연 산화물 기반의 AZO (Al-doped zinc oxide) 등이 있다.ITO의 경우, 우수한 성능 과
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