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Low-Temperature Epoxy-based Cu/Polymer Hybrid Bonding for 3D IC Packaging with Optimized CMP
环氧树脂
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作者
Jia‐Rui Lin,
Yi-Hsuan Chen,
Yuan-Chiu Huang,
Junichi Fujikata,
Keiko Abe,
Naoko Araki,
Takayuki Ohba,
Kuan‐Neng Chen
标识
DOI：10.1109/iitc66087.2025.11075468
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