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Strain relaxation in ε-Ga2O3 thin films grown on vicinal (0001) sapphire substrates

邻接 材料科学 应力松弛 外延 薄膜 金属有机气相外延 蓝宝石 化学气相沉积 薄脆饼 结晶学 光电子学 复合材料 纳米技术 光学 化学 蠕动 激光器 物理 有机化学 图层（电子）
作者
Shujian Chen,Zimin Chen,Weiqu Chen,Paiwen Fang,Jun Liang,Xinzhong Wang,Gang Wang,Yanli Pei
出处
期刊：Journal of Alloys and Compounds [Elsevier BV]
日期：2024-04-03 卷期号：989: 174388-174388 被引量：2
标识
DOI：10.1016/j.jallcom.2024.174388
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