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Abnormal Cu Grain Growth by External Stress on Electroplated Cu Films

电镀 材料科学 晶粒生长 层错能 退火（玻璃） 冶金 微观结构 压力（语言学） 粒度 位错 晶界 晶粒异常长大 复合材料 语言学 哲学 图层（电子）
作者
J. W. Chang,Chung Yu Chiu,Yu‐Chen Huang,Tzu-Hsuan Cheng,Ze Yu,Men Tzung Lo,C. Y. Liu
出处
期刊：JOM [Springer Nature]
日期：2024-01-02
标识
DOI：10.1007/s11837-023-06343-y
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