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Modeling and Control of SiNx Film Growth using the Kinetic Monte Carlo Method: Impact of Gas Flow Rate on Surface Roughness and Film Thickness

材料科学 表面粗糙度 动力学蒙特卡罗方法 表面光洁度 蒙特卡罗方法 多孔性 体积流量 化学气相沉积 纳米技术 复合材料 机械 数学 统计 物理
作者
Adil Bouhadiche,Zineddine Difellah,Hachemi Bouridah,Riad Remmouche,Soulef Benghorieb,M.R. Beghoul,S. Benzeghda
出处
期刊：Silicon [Springer Nature]
日期：2023-03-27 卷期号：15 (12): 5209-5220 被引量：2
标识
DOI：10.1007/s12633-023-02415-5
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