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Reactive ion etching of indium gallium zinc oxide (IGZO) and chamber cleaning using low global warming potential gas

铟 镓 材料科学 蚀刻（微加工） 锌 反应离子刻蚀 氧化物 离子 光电子学 化学工程 纳米技术 无机化学 冶金 化学 图层（电子） 工程类 有机化学
作者
Jong Woo Hong,Hyun Woo Tak,Nam Il Cho,Hyeong Joon Eoh,Chan Ho Kim,Jun Won Jeong,Kyung Lim Kim,Hee Jin Yoo,Hyun Min Cho,Yu Gwang Jeong,Da‐Woon Jung,Yun Jong Yeo,Geun Young Yeom,Dong Woo Kim
出处
期刊：Applied Surface Science [Elsevier BV]
日期：2024-07-07 卷期号：671: 160692-160692 被引量：2
标识
DOI：10.1016/j.apsusc.2024.160692
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