SciHub
文献互助
期刊查询
一搜即达
科研导航
即时热点
交流社区
登录
注册
发布
文献
求助
首页
我的求助
捐赠本站
Stress control in thick hydrogenated amorphous carbon films to mitigate stress-induced defects in semiconductor processes
材料科学
半导体
压力（语言学）
非晶半导体
碳纤维
无定形碳
无定形固体
碳膜
工程物理
复合材料
薄膜
光电子学
纳米技术
化学
结晶学
工程类
复合数
语言学
哲学
作者
Myung Mo Ahn,
Se Jun Park,
Boyoung Shim,
Seungmin Moon,
Song Yi Baek,
Changsoo Lee,
Jaehyun Kim,
Chulhwan Choi
出处
期刊：
Thin Solid Films
[Elsevier BV]
日期：2025-02-19
卷期号：814: 140635-140635
被引量：1
标识
DOI：10.1016/j.tsf.2025.140635
求助该文献
最长约 10秒，即可获得该文献文件
相关文献
暂未提供新的相关文献。
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
我的文献求助列表
浏览历史
一分钟了解求助规则
|
捐赠本站
|
历史今天
更新
⚡
2026年影响因子、分区
已更新！
(2026-6-17)
更新
📰 新增『新锐期刊分区』
(2026-3-24)
更新
💬 新增更精细的自定义提醒设置
(2026-1-4)
新增
🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻
(2026-1-2)
新增
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
三水
完成签到
，获得积分
10
刚刚
feizao
完成签到，获得积分
10
1秒前
小飞侠
完成签到
，获得积分
10
2秒前
yooookiiki
完成签到
，获得积分
10
3秒前
安静严青
完成签到
，获得积分
10
7秒前
风趣朝雪
完成签到，获得积分
10
11秒前
ghost202
完成签到，获得积分
10
11秒前
种下梧桐树
完成签到
，获得积分
10
11秒前
yang
完成签到
，获得积分
0
15秒前
kk
完成签到，获得积分
10
17秒前
微风呵劲草
完成签到
，获得积分
10
17秒前
勤qin
完成签到
，获得积分
10
17秒前
ng
完成签到
，获得积分
10
18秒前
哥哥
发布了新的
文献求助
10
18秒前
假真真
完成签到
，获得积分
10
26秒前
zero
完成签到
，获得积分
10
27秒前
吉吉
完成签到，获得积分
10
33秒前
木木 12
完成签到，获得积分
10
34秒前
sea
完成签到
，获得积分
10
34秒前
YANA
完成签到，获得积分
10
38秒前
凡凡
完成签到，获得积分
10
40秒前
Criminology34
的
应助
被
wangjius
采纳，获得
10
42秒前
明亮豆芽
完成签到
，获得积分
10
43秒前
懒猫
完成签到，获得积分
10
44秒前
May
完成签到
，获得积分
10
50秒前
失眠的保温杯
完成签到，获得积分
10
50秒前
wuqs
完成签到，获得积分
10
51秒前
丸子
完成签到
，获得积分
10
53秒前
Hippo
完成签到
，获得积分
10
55秒前
千禧云集
完成签到
，获得积分
10
57秒前
追梦
完成签到，获得积分
10
59秒前
星辰大海
的
应助
被
Hao
采纳，获得
30
1分钟前
沙洲
完成签到
，获得积分
10
1分钟前
哥哥
完成签到，获得积分
10
1分钟前
达克赛德
完成签到
，获得积分
10
1分钟前
tangyuan
完成签到
，获得积分
10
1分钟前
柯彦
完成签到
，获得积分
10
1分钟前
记上没文献了
完成签到
，获得积分
10
1分钟前
如意秋珊
完成签到
，获得积分
0
1分钟前
火星上凌雪
完成签到
，获得积分
10
1分钟前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】
10000
拉伸高分子熔体中缠结行为的模拟和小角中子散射研究
1500
奈特基础组织学：配套组织病理学（第4版）（Netter's Essential Histology With Correlated Histopathology)求助
1000
Encyclopedia of Modern Artificial Intelligence
1000
John McDowells Bildungstheorie
800
Analyses de reconnaissances de dettes passées devant les échevins d'Ypres (1249-1291)
600
Synthesis, Application and Future Perspectives of Smart Nano-materials - Part 1
400
热门求助领域
（近24小时）
化学
材料科学
医学
生物
纳米技术
计算机科学
工程类
有机化学
化学工程
生物化学
物理
复合材料
内科学
催化作用
光电子学
人工智能
细胞生物学
无机化学
物理化学
数学
热门帖子
关注
科研通微信公众号，转发送积分
8152021
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？
9548857
关于积分的说明
21687633
捐赠科研通
7740138
什么是DOI，文献DOI怎么找？
3425126
关于科研通互助平台的介绍
2550227
邀请新用户注册赠送积分活动
2468512
今日热心研友
嘻嘻哈哈
236
1101
null
209
870
OK
1500
吃葡萄不吐葡萄皮
60
480
Maestro_S
58
450
情绪稳定
1030
学霸业
42
400
Jun
45
200
无极微光
13
450
fantasy
39
120
369ninja
33
160
Nole
32
170
6666
16
290
MchemG
4
400
踏实的盼柳
34
100
GingerF
9
340
sanvva
350
Criminology34
34
纯真的翠彤
10
200
molihuakai
260
注：热心度 = 本日应助数 + 本日被采纳获取积分÷10
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
嘻嘻哈哈
null
OK
吃葡萄不吐葡萄皮
Maestro_S
情绪稳定
学霸业
Jun
无极微光
fantasy
369ninja
Nole
6666
MchemG
踏实的盼柳
GingerF
sanvva
Criminology34
纯真的翠彤
molihuakai
皖公网安备34019202002308
