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Comparison of Microstructure and Tribological Behaviors of CrAlN and CrN Film Deposited by DC Magnetron Sputtering

材料科学微观结构摩擦学溅射沉积扫描电子显微镜 X射线光电子能谱冶金溅射薄膜物理气相沉积复合材料涂层纳米技术化学工程工程类

作者

Ren Xingrun,Zhu Huang,Meixia Liu,Jiangao Yang,Hao Chen

出处

期刊：Rare Metal Materials and Engineering [Elsevier BV]
日期：2018-04-01 卷期号：47 (4): 1100-1106 被引量：18

标识

DOI：10.1016/s1875-5372(18)30127-9

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