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Electrode sputtering in high pressure electric discharges
作者
J. M. Feldman,
E. M. Williams
出处
期刊:
Applied Scientific Research, Section B
[Springer Nature]
日期:1962-02-01
卷期号:10 (1): 7-22
被引量:4
标识
DOI:10.1007/bf02921873
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