Preparation of flower-shaped silica abrasives by double system template method and its effect on polishing performance of sapphire wafers

材料科学 抛光 薄脆饼 研磨 蓝宝石 化学机械平面化 扫描电子显微镜 表面粗糙度 磨料 表面光洁度 纳米 复合材料 化学工程 纳米技术 光学 工程类 激光器 物理
作者
Lei Xu,Hong Lei,Tianxian Wang,Yue Dong,Sanwei Dai
出处
期刊:Ceramics International [Elsevier BV]
卷期号:45 (7): 8471-8476 被引量:34
标识
DOI:10.1016/j.ceramint.2019.01.158
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