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An electromigration study of novel 3D Cu stack-via interconnects for advanced high-density fan-out packaging

电迁移材料科学堆栈（抽象数据类型）铜互连互连电流密度工程物理光电子学复合材料图层（电子）计算机科学工程类电信量子力学物理程序设计语言

作者

Kai Shao,Meng-Chun Chiu,Chien-Lung Liang,Min‐Yan Tsai,Yung‐Sheng Lin,Chen-Chao Wang,Chih-Pin Hung,Kwang‐Lung Lin

出处

期刊：Materials Science in Semiconductor Processing [Elsevier]
日期：2025-01-01 卷期号：188: 109256-109256 被引量：4

标识

DOI：10.1016/j.mssp.2024.109256

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