Machining of through-glass vias (TGVs) with femtosecond laser GHz burst modes

飞秒 材料科学 机械加工 激光器 光电子学 激光加工 突发模式(计算) 表面微加工 光学 电子工程 激光束 工程类 物理 制作 冶金 病理 替代医学 医学
作者
Mykolas Karpavicius,Simas Butkus,Kamilė Kasačiūnaitė
标识
DOI:10.1117/12.3043097

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