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Self-aligned vertical short-channel 2D transistors for CMOS inverter and digital logic circuit

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作者
Yiheng Wang,Zhidong Pan,Tao Zhou,Xueming Li,Cheng‐Ming Luo,Tao Zheng,Wei Gao,Yuhang Zhang,Yujue Yang,Jingbo Li,Nengjie Huo
出处
期刊:Materials Science and Engineering R [Elsevier BV]
卷期号:165: 101020-101020 被引量:3
标识
DOI:10.1016/j.mser.2025.101020
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