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Self-aligned vertical short-channel 2D transistors for CMOS inverter and digital logic circuit
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作者
Yiheng Wang,
Zhidong Pan,
Tao Zhou,
Xueming Li,
Cheng‐Ming Luo,
Tao Zheng,
Wei Gao,
Yuhang Zhang,
Yujue Yang,
Jingbo Li,
Nengjie Huo
出处
期刊：
Materials Science and Engineering R
[Elsevier BV]
日期：2025-05-28
卷期号：165: 101020-101020
被引量：3
标识
DOI：10.1016/j.mser.2025.101020
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