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Fabrication of damage-free Johansson-type doubly curved crystal spectrometer substrate by numerically controlled local wet etching

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作者

Kazuya Yamamura,Kazuaki Ueda,M Nagano,Nobuyuki Zettsu,Shuji Maeo,Shoichi Shimada,T. Utaka,Kazuo Taniguchi

出处

期刊：Nuclear Instruments and Methods in Physics Research [Elsevier BV]
日期：2009-12-07 卷期号：616 (2-3): 281-284 被引量：4

标识

DOI：10.1016/j.nima.2009.12.006

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