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Mechanical Properties of Thin AlSiN Films, Studied by Nanoindentation, as a Thermal-Stability Criterion

纳米压痕 材料科学 纳米晶材料 无定形固体 退火（玻璃） 溅射沉积 复合材料 薄膜 弹性模量 表面粗糙度 热稳定性 原子力显微镜 溅射 结晶学 纳米技术 化学工程 化学 工程类
作者
Т. А. Кузнецова,T.I. Zubar,V. A. Lapitskaya,K. A. Sudzilovskaya,С. А. Чижик,В.В. Углов,V. I. Shymanski,Н. Т. Квасов
出处
期刊：Surface investigation: x-ray, synchrotron and neutron techniques [Pleiades Publishing]
日期：2019-05-01 卷期号：13 (3): 408-411 被引量：7
标识
DOI：10.1134/s102745101903011x
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