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Mechanical Properties of Thin AlSiN Films, Studied by Nanoindentation, as a Thermal-Stability Criterion
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作者
Т. А. Кузнецова,
T.I. Zubar,
V. A. Lapitskaya,
K. A. Sudzilovskaya,
С. А. Чижик,
В.В. Углов,
V. I. Shymanski,
Н. Т. Квасов
出处
期刊：
Surface investigation: x-ray, synchrotron and neutron techniques
[Pleiades Publishing]
日期：2019-05-01
卷期号：13 (3): 408-411
被引量：7
标识
DOI：10.1134/s102745101903011x
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