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作者
M. V. Revin,V. A. Belyakov,В. А. Иванов,A. P. Kotkov,A.G. Fefelov,Е. В. Демидов,М. Н. Дроздов,P. A. Yunin,V. I. Shashkin
出处
期刊：Nano- i mikrosistemnaâ tehnika
[New Technologies Publishing House]
日期：2019-10-28
卷期号：21 (10): 600-610
标识
DOI：10.17587/nmst.21.600-610
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