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A Resonant Pressure Micro Sensor with a Stress Isolation Layer
作者
LU Yu-lan,
Bo Xie,
Qiuxu Wei,
Yadong Li,
Xiaoqing Shi,
Chao Xiang,
Deyong Chen,
Wang Junbo,
Jian Chen
出处
期刊：IEEE Conference Proceedings
日期：2018-01-01
卷期号：2018: 1-4
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