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材料科学 制作 商业化 吞吐量 光电子学 原子层沉积 纳米技术 二氧化钛 图层(电子) 纳米光刻 可见光谱 沉积(地质) 限制 可扩展性 等离子体子 平版印刷术 光学工程 工作(物理) 测距 光学 表征(材料科学) 制造成本
作者
Trung Hoang,Yujin Park,Joohoon Kim,Han Truong,Sajjan Parajuli,Beniel Jones Rajasekaran,K C Kim,Dohyun Kang,Gyoseon Jeon,Kyung-il Lee,Dong Hyun Yoon,Inki Kim,Junsuk Rho,Gyoujin Cho
出处
期刊:Nature [Nature Portfolio]
卷期号:652 (8112): 1188-1194 被引量:1
标识
DOI:10.1038/s41586-026-10369-y
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