Pyrolysis of monomethylhydrazine for organometallic vapor-phase epitaxy (OMVPE) growth

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作者
R.T Lee,G. B. Stringfellow
出处
期刊:Journal of Crystal Growth [Elsevier BV]
卷期号:204 (3): 247-255 被引量:17
标识
DOI:10.1016/s0022-0248(99)00179-7
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