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Effect of Capping Layer on Hillock Formation in Thin Al Films

小丘材料科学复合材料退火（玻璃）铝图层（电子）薄膜模数体积热力学纳米技术热力学物理

作者

Kwang-Ho Jang

出处

期刊：Metals and Materials International [Springer Science+Business Media]
日期：2008-04-26 卷期号：14 (2): 147-150 被引量：14

标识

DOI：10.3365/met.mat.2008.04.147

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