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Magnetron sputtering issues concerning growth of magnetic films: a technical approach to background, solutions, and outlook

溅射 高功率脉冲磁控溅射 溅射沉积 等离子体 材料科学 薄膜 光电子学 纳米技术 物理 核物理学
作者
Ali Kosari Mehr,Abbas Kosari Mehr
出处
期刊：Applied Physics A [Springer Science+Business Media]
日期：2023-09-01 卷期号：129 (9) 被引量：14
标识
DOI：10.1007/s00339-023-06945-y
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